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集成電路用過(guò)氧化氫 - 含量的測(cè)定、酸度的測(cè)定

更新日期:2022-08-12   瀏覽量:1343


T/ICMTIA 2-2019 集成電路用過(guò)氧化氫

范圍
本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了集成電路用過(guò)氧化氫(H2O2)的要求、試驗(yàn)方法檢規(guī)則及標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存。
分子式: H2O2
相對(duì)分子質(zhì)量: 34.01(按2011年國(guó)際相對(duì)原子質(zhì)量)

術(shù)語(yǔ)和定義
下列術(shù)語(yǔ)和定義適用于本文件。
PE: 聚乙烯
PP: 聚丙烯
FEP: 氟化乙烯丙烯共聚物
PFA : 全氟烷氧基樹(shù)脂
HDPE: 高密度聚乙烯

要求
性狀
本品為無(wú)色透明液體,具有腐蝕性和氧化性,溶于水、醇、醚。31%的H2O2在25°C時(shí)密度為1.11g/cm3,長(zhǎng)時(shí)間放置會(huì)緩慢分解為氧和水,儲(chǔ)存時(shí)不能盛滿,不得超過(guò)滿容量95%,容器的蓋子應(yīng)帶有透氣孔。
技術(shù)規(guī)格及指標(biāo)
表1.jpg

表1續(xù).jpg

實(shí)驗(yàn)方法
含量的測(cè)定
氧化還原滴定法(仲裁法)
準(zhǔn)確稱取0.2g(0.18mL)樣品,精確至0.0001g,加25mL水,加10mL硫酸溶液(質(zhì)量分?jǐn)?shù)為20%),用高錳酸鉀標(biāo)準(zhǔn)滴定溶液[c(1/5 KMnO4)=0.1mol/L]滴定至溶液呈粉紅色,保持30秒不退色。過(guò)氧化氫(H2O2)的質(zhì)量分?jǐn)?shù)(X)按式(1)計(jì)算:
式1.jpg
式中:
X ——過(guò)氧化氫的質(zhì)量分?jǐn)?shù),%;
——高錳酸鉀標(biāo)準(zhǔn)溶液的體積,mL;
c ——高錳酸鉀標(biāo)準(zhǔn)溶液的濃度,mol/L;
17.01——[1/2 H2O2]的摩爾質(zhì)量,g/mol;
m ——樣品的質(zhì)量,g。

密度法
儀器
密度儀: 度控制精度±0.01°C,測(cè)量精度0.0001g/cm3
濃度與密對(duì)應(yīng)數(shù)據(jù)
將過(guò)氧化氫不同濃度-密度對(duì)應(yīng)數(shù)據(jù)導(dǎo)入密度儀,形成濃度與密度對(duì)應(yīng)關(guān)系曲線。
測(cè)試
按照儀器的操作規(guī)程,H2O2樣品直接進(jìn)樣檢測(cè),測(cè)試結(jié)束用純水清洗。

酸度的測(cè)定
稱取20g樣品,精確至0.01g,加入90mL無(wú)CO2的水,滴加5滴溴甲酚氯-甲基紅混合指示液,用氫氧化鈉標(biāo)準(zhǔn)滴定溶液[c(NaOH)=0.01mol/L]滴定至溶液呈綠色,并保持30秒不退色。過(guò)氧化氫(H2O2)的酸度(X)按式(2)計(jì)算:
式2.jpg
式中:
X ——過(guò)氧化氫的酸度,%;
——?dú)溲趸c標(biāo)準(zhǔn)溶液的體積, mL ;
c ——?dú)溲趸c標(biāo)準(zhǔn)溶液的濃度,mol/L;
49.04——[1/2 H2SO4]的摩爾質(zhì)量, g/mol;
m ——樣品的質(zhì)量,g。


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